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#template-center-mark table#template-center-mark td table tr td:nth-last-child(#)
*,:after,:before {
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body {
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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 ### 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔####〕##号）等有关规定， ### ####年##月高真空磁控溅射系统采购意向公开如下：
采购单位
###
采购项目名称
大尺寸高真空磁控溅射系统
预算金额（元）
#######是否面向中小企业
面向中小企业
落实政府采购政策功能情况
落实政府采购相关政策
预计采购时间
####年##月
采购需求概况
标的名称：大尺寸高真空磁控溅射系统数量/单位：#台预算金额（元）：#######采购目录：A########电子工业生产设备
需实现的主要功能或者目标：空载腔体极限真空度：≤#x##-# Pa，漏率≤#x##-## Pa?m#/s；平面阴极：W##*L###mm，#套，分别用于#套金属氧化物和一套金属靶材，靶头水冷系统；射频电源 #KW，#套，直流电源 #KW；膜厚均匀性：### mm半片内，≤#%@###nm，#%@##nm；工艺温度：RT-###oC；靶基距离：##-###mm可调;基片架：可放置###mm半片#片及其它规格小尺寸片子。
需满足的质量、服务、安全、时限等要求：（一）保证提供的产品为全新，质量检测合格，质保期#年 ；（二）免费提供安装调试、人员培训、软件升级等服务，售后服务响应及时；（三）保证正常使用时的安全；（四）时限要求：供货期#个月左右。
联系人
冯老师
联系电话
###########
备注
/
###
####年##月##日
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。
附件：